Gas laser oscillator



(57)【要約】 【課題】供給されるレーザガスによって惹起される気流 によりレーザビームを導出する光透過体の表面が塵埃等 によって汚れる事態を回避し、レーザビームの出力特性 を長期間にわたり安定して維持する。 【解決手段】第1ミラーボックス50に対し、開口部5 4の上下に形成されたガス供給通路52aおよび52b を介して、複数の吐出口56aおよび56bより透過窓 38の表面に向けてレーザガスGを吐出させることによ り、第1ミラーボックス50内の塵埃が透過窓38の表 面に付着する事態を回避し、これによって、長期間にわ たり安定した状態でレーザビームLを導出する。
PROBLEM TO BE SOLVED: To evade the situation that the surface of a light transmission body for leading out a laser beam is stained by dust or the like by an air flow caused by supplied laser gas and to stably maintain the output characteristics of the laser beam for a long period of time. SOLUTION: By discharging the laser gas G from plural discharge ports 56a and 56b to the surface of a transmission window 38 through gas supply passages 52a and 52b formed above and below an opening part 54 to a first mirror box 50, the situation that the dust inside the first mirror box 50 is stuck to the surface of the transmission window 38 is evaded. Thus, the laser beam L is led out in a stable state for a long period of time.




Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)


Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle